シリコンウエハー研磨排水処理

半導体製造プロセスの後工程における「BG(バックグラインド)」及び「ダイシングソー」工程での超純水排水は、一般的に純水中にシリコン研磨排水(粒子)のみを含んだものです。このプロセス工程のみを分離回収することで排水をリサイクルすることは、昨今どこの企業でも導入が進んでいます。

ダイシング排水処理装置

ダイシングとは	一般的に、半導体をウエハーに付けた後にカットすることをダイシングといいます。
用途	半導体工場にて、ダイシング装置より排出された排水を処理します。懸濁物質を除去して純水を再利用します。まれに純度などの測定値次第では、RO装置の処理水タンクに戻す場合もあります。安全を考慮すると、戻す場所は純水装置の原水タンクとなります。粒子径は0.2μｍが一番多い(両サイドに分乗していきます。）
仕様	5㎥/ｈ（回収率95%以上）
お問合せ先	オーセンテック神奈川事業所 TEL：0463-32-5511 FAX：0443-32-5530 E-mail：info.kng@authentec.co.jp

BG排水処理装置

BGとは	バックグラインドの略称。半導体のシリコンウエハーを研磨すること。
用途	半導体工場のシリコンウエハーの研磨時に出てくる排水の濃縮装置。排水の濃縮(減容)化による産業廃棄物処分費の削減を目的とした装置です。 シリコン排水は、排水基準に含まれている物質ではないが、見た目が真っ黒な排水のため、そのまま放流することで企業イメージが悪くなることを避けるために処理を行います。 原水が5,000～7,000ppmで排出されたものを100,000ppmまで濃縮して外部に産業廃棄物として反室します。粒子径は、0.１μｍが一番多く、両サイドに分伏していきます。（研磨するヤスリによって粒子径は変化します）
仕様	0.84㎥/ｈ シリコン排水を100,000ppmまで濃縮が可能
お問合せ先	オーセンテック神奈川事業所 TEL：0463-32-5511 FAX：0443-32-5530 E-mail：info.kng@authentec.co.jp

ニッケルメッキ排水リサイクル装置

内容	ニッケルメッキを行った後、基板を純水で洗浄を行います。洗浄後の排水から、純水および有価物のニッケルを回収する目的として挿入いただいております。
仕様	排水量：10㎥/ｈ　純水回収率：9.5㎥/ｈ　濃縮排水量：0.5㎥/ｈ　回収率：95％
お問合せ先	オーセンテック神奈川事業所 TEL：0463-32-5511 FAX：0443-32-5530 E-mail：info.kng@authentec.co.jp

油水分離装置「ワストウィザード」

※2022年1月現在…メーカー製造終了により、新規のご注文を承っておりません。 ワスト・ウィザードシステムは、切削用クーラント溶液または、クリーナー等の排液の濃縮を目的とし開発されました。

その全様は、コンパクトにパッケージ化された「ウルトラ・フィリック改質　PAN」と称する独自のUF膜を主体とし、加圧・送水ポンプとパッケージされたシステムです。

機能と利点

オーセンテック　ワスト・ウィザードシステムは、製造ラインの製品(部品)を表面処理したクリーナー排水や、切削用クーラント溶液・工場内の循環溶液、 水溶性溶剤および一定の水性産業用流体のリサイクルのための革命的なろ過テクノロジーです。

ワスト・ウィザードシステムの利用ポイントは、 様々なシーンで循環する貴重な液体からそれらの耐用年数を縮める経時的な汚れや油分をろ過分離し、 リサイクルすることによるコストの削減を確立することです。

このシステムは、オイルと汚れ成分を含む溶液から水分を抽出しリサイクルを行うため、それらの負荷の高い排水を中枢部である ”スタック(UF膜)”と呼ばれる部分に通過させます。そのためそのスタック自身が目詰まりしないよう定期的な自己クリーニング機能を装備しています。

更にワスト・ウィザードシステムは、最終廃液回収処理を簡便にするための標準サイズ55ガロン(200L)ドラム、またはオプションの100ガロン(380L)タンクに収まるサイズに作られています。
ご注意：このワスト・ウィザードは、導入前にに処理を行う液状の適正テストをお勧めしております。

優れた耐薬品性と化学的安定性

●使用済みクリーナーやクーラント溶剤の最高80%までリサイクルします。
●排液濃縮が可能な排液は、大幅に処分コストを削減します。
●水溶性溶剤中の水分を腐敗する前に交換することが可能になります。（場内環境保全）
●自動運転が可能な自己洗浄サイクルコントロール制御。
●条件変化の下、スマートなコントロールユニット。
●前処理不要；特殊なUF膜は溶液から水分をろ過します。
●小さい据付スペースを実現し、55gal（200L）のドラム缶に搭載可能。
●様々な利用シーンのためにシンプルに作られています。
●米国で特許を取得したUltraFilic改質PANは最も高いアウトプットを確実にします。

超親水性メンブレンの適合性

次の表は各浸水膜と薬品の適合性を表すワスト・ウィザードの優位性を示します。

◎：優れている　　○：良い　　×：非適合

薬品タイプ	超親水性PAN	PVDF	PS
脂肪族　炭化水素(例：ヘキサン)	◎	◎	◎
芳香族　炭化水素(例：キシレン)	◎	◎	×
ハロゲン族　炭化水素(例：1,1,1　トリクロロエタン	◎	×	×
極性有機溶媒(例：アセトン、MEK）	◎	×	×
酸	◎	◎	◎
アルカリ	○	○	◎

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➡WasteWizard(油水分離装置)のご紹介.pdf ➡工場内の床洗浄廃液の油水分離テスト.pdf ➡真鍮加工プレス廃液の油水分離テスト.pdf